1. 由申請人填妥相關資料後，向河川局提出申請。
2. 河川局收件後，若附件不齊全，將駁回申請人，或是限期補正。
3. 經驗證合格後，將訂期勘查，若與規定不符者將駁回申請。
4. 訂期勘查符合規定者，將函請申請人限期整地函報複勘，若承續曾許可使用種植地免再複勘整地詮定地目等則，則直接核發許可。
5. 訂期複勘銓定地目等則後，即核發許可。
6. 翌年1月間開立使用費徵收聯單，繳費期限自2月1日起至2月28日。
7. 許可期限屆滿三個月前，會再通知申請人申請省續使用，若逾期通知將註銷許可；若合格則依相關流程核發限期許可，以二次為限。
以下即為依據上述流程所繪製的流程圖：
